蒸發源材料石墨（mò）坩堝的設計原則

在（zài）金屬蒸鍍行業中，用於製備（bèi）蒸發（fā）源的材料必須具有下列性能I 21】：
(1)具有（yǒu）合適的電阻率和電阻溫度係數，蒸鍍鋁時的容器電阻率（lǜ）在
1～151an·m，其他應用（yòng）時為O．5～48V-o·rn；
(2)優良的（de）耐熱性，如蒸鍍鋁的溫度在1450"C左右；
(3)優良的耐熱衝擊性，在使用時蒸（zhēng）發容器必（bì）須經受多次冷熱循環，在通電
的起始階段可能出現急熱；
(4)優良的耐熔融金（jīn）屬腐蝕性；
(5)具有足夠高的（de）機械強度（dù）；
(6)在高溫下與（yǔ）被鍍金屬熔液有良好的潤濕性；
(7)高純度，特別在用於電子器件的真空鍍膜時；
(8)易機械加工；
(9)蒸發容器材料的蒸汽壓極低；
(10)製造（zào）成本較低；
對於大多數金屬來說（shuō），石墨蒸發舟能與許多餘（yú）屬在高溫下發生反應生成碳化
物（wù）造成開花、凸泡直至完（wán）全破壞，影響了蒸發舟的使用壽命。後來研究人員采用
各種方法在石墨坩堝表麵塗覆一層或多層抗腐蝕、抗氧化的（de）覆蓋（gài）層【22-241，但是在使用過（guò）程中同樣存在塗覆物脫落、破壞，以及使（shǐ）用時間不長等問題。這是因（yīn）為在製備石墨坩（gān）堝塗（tú）覆層時，塗覆（fù）物與石墨基體之間由於物性參數不匹配，有殘餘應力存在。製成品在冷熱循環的環境中工作時（shí），裂紋在（zài）應力集中的地方擴展，長大，最終使得塗覆層脫落。由於六方BN具有（yǒu）與石墨（mò）極為相（xiàng）似的晶體結構和性質，兩者的物性參數較為匹配。六方（fāng）BN是優良的絕緣體，將其塗覆在石墨基體上後（hòu），基本上可以解決（jué）殘餘應（yīng）力大的問題。