一種物理氣相沉（chén）積（jī）法生（shēng）長大尺寸碳化矽單晶的石墨坩堝及其應用

一種物理氣相沉（chén）積法生長大尺寸碳化矽單晶（jīng）的石墨坩（gān）堝及其應用

本發明涉及一種物理（lǐ）氣相沉積法生長大尺寸碳化矽（guī）單（dān）晶的（de）石墨（mò）坩堝，包（bāo）括收容碳化矽（guī）原料的坩堝桶和上蓋，在所述坩堝桶的內壁上部和上蓋的外壁（bì）上設置有相（xiàng）互旋合的螺（luó）紋，所述（shù）上蓋和坩堝桶通過螺（luó）紋連接；在所述的坩堝桶內壁上（shàng）設置有放置多孔（kǒng）石墨板的定位塊；在定位塊上放置有多孔石墨板，所述多（duō）孔石墨板的外徑與坩堝桶（tǒng）的內徑相適應。本發明有效的避（bì）免了（le）生長過程中碳化矽原料的碳化對晶體生長造成的影響，提（tí）高晶體生長的穩定性和成功率。