石墨製品表（biǎo）麵如何氣相層積處理

一種石墨件表麵（miàn）沉積碳化矽的方（fāng）法，包括如下步（bù）驟：(1)石墨表（biǎo）麵除雜：首先（xiān）將石墨件表麵的雜質通過形成金屬鹵化物升華除去；(2)CVD沉積：將（jiāng）處理後的石墨件送入CVD反（fǎn）應爐（lú），通過化學氣相沉積反應在石墨件（jiàn）表麵沉（chén）積碳化矽塗層。本發明通過在CVD反應爐之前設（shè）置預處理爐，將石墨件含有的金屬雜質通過與鹵族氣體反應形成金屬氯化物升華除去，有利於純化石墨（mò）件，避免其含有的（de）雜質帶入後續的係統。另外，通過超聲清洗（xǐ），進（jìn）一步清潔石墨件的表（biǎo）麵，避免附著的顆粒物存在影響碳化矽塗層的結合強度。